電容式傳感器的輸出電壓和輸入功率是F作為一種力量，是檢測(cè)之間的關(guān)系;KS，KC和Ku無(wú)力的位移，位移的電容器，電容器的輸出電壓比例系數(shù);U為傳感器的輸出電壓。很顯然，在力的位移，位移的電容，電容的輸出電壓的每個(gè)環(huán)節(jié)的過(guò)程中，傳感器的結(jié)果受到影響。電容檢測(cè)電路的線性度很容易得到保證，即，庫(kù)是恒定的，所以影響傳感器的線性度的主要因素是力-位移和位移-電容轉(zhuǎn)換過(guò)程的非線性。

　　一種常見(jiàn)的電容式力傳感器的結(jié)構(gòu)是0的靜態(tài)頻率檢測(cè)，傳感器位移x和測(cè)力是x =法之間的關(guān)系。一般的彈簧的設(shè)計(jì)是線性的，即KS不隨位移的變化而變化，是恒定的，在轉(zhuǎn)換過(guò)程中的位移的力是完全線性的，對(duì)傳感器的非線性整體沒(méi)有貢獻(xiàn)。改變電容器的電容有兩種方法。可變區(qū)的線性度較好，但在相同位移下的電容變化較小。

　　力和位移之間的線性關(guān)系是影響傳感器線性度的又一主要因素，通常是為了提高傳感器的線性度而設(shè)計(jì)的。但考慮到非線性結(jié)構(gòu)的位移與電容之間的關(guān)系，其力與位移之間的比例隨位移的絕對(duì)值的增大而減小，并在一定程度上抵消了非線性和改善力與電容的線性關(guān)系。

　　通過(guò)選取結(jié)構(gòu)的寬度、受力和位移的非線性特性以及在一定范圍內(nèi)的位移和位移的差異，從而提高了傳感器的線性度。